在线光谱仪的核心技术全链路涵盖色散元件、聚焦成像系统、探测器及信号处理系统,各环节协同实现高精度光谱分析,具体拆解如下:
1.色散元件:光谱分离的基石
色散元件是光谱仪的核心部件,通过光的色散原理将复合光分解为单色光。常见类型包括:
光栅:利用衍射原理,通过周期性结构使不同波长光以不同角度偏转,实现波长分离。其优势在于分辨率高、色散均匀,且适用于紫外到近红外波段。但需配合滤光片消除多级次光谱的杂散光干扰。
棱镜:基于不同波长光的折射率差异进行色散,短波长光色散能力更强。其结构简单、成本低,但存在非线性色散和色散不均匀问题,通常用于可见光波段。
PGP(棱镜-光栅-棱镜)组合:以光栅为核心,结合棱镜实现线性色散,但制作成本较高,系统体积较大。
2.聚焦成像系统:光信号的精准传递
色散后的单色光需通过聚焦成像系统(如透镜组)汇聚至探测器像面。系统需满足广角、大孔径、宽波段要求,并消除色差以实现平像面成像,确保光谱线清晰分离。例如,ICP光谱仪采用中阶梯光栅配合棱镜交叉色散,兼顾光通量与分辨率。
3.探测器:光信号到电信号的转换
探测器需具备高灵敏度、低噪声和快速响应特性:
CCD(电荷耦合器件):适用于宽波段检测,通过面阵或线阵结构实现高分辨率光谱采集。例如,VeritySD1024G光谱仪采用TEC制冷CCD,降低暗电流噪声,提升信噪比。
光电二极管阵列:用于高速检测场景,如LIBS光谱仪需在毫秒级时间内完成元素分析,对探测器响应速度要求高。
4.信号处理系统:数据优化与输出
电信号经放大、滤波后转换为数字信号,通过算法消除噪声、校正波长漂移,最终生成光谱图像或数据。例如,光谱仪通过标样制定工作曲线,实现元素含量的定量分析。